Vth0 tăng như chiều dài cửa khẩu trở thành nhỏ, tại sao?

[filtershaoyong]

Theo cuốn sách của Sze, các vth0 sẽ giảm theo chiều dài cửa khẩu trở thành nhỏ với chiều rộng cố định.
Nhưng tôi kết luận từ công nghệ TSMC 0.18um tăng Vth0 rằng với chiều dài giảm.

Tôi thấy rằng, W = 10um L = 10U, 4u, 1u, 0.18u, chúng tôi đã nhận các Vth0 tương ứng = 0.43mv, 0.44mv, 0.48mv, 0.51mv

tại sao?

 

[elbadry]

Có một hiệu ứng gọi là:

ngược ngắn kênh có hiệu lực.Hiệu ứng này là tăng điện áp ngưỡng làm giảm chiều dài kênh.

Hiệu ứng này có liên quan đến việc sử dụng các ion-cấy.Ion cấy gây ra một số khuyết tật gần nguồn mà kết quả doping cao (unintentionaly cao) gần nguồn, do đó tăng điện áp ngưỡng.