máy bay tinh thể thường được sử dụng trong chế tạo wafer silic

[allennlowaton]

Good day guys ...
Xin hãy giúp tôi với ...
Tôi đang gặp một sự cố liên quan đến loại máy bay tinh (100, 110, 111) là / thường được sử dụng trong chế tạo wafer silic ..
Và hãy thêm hỗ trợ cũng là một lý do tại sao nó được chọn / ưa thích.

Cảm ơn bạn rất nhiều.

 

[erikl]

allennlowaton đã viết:

Tôi đang gặp một sự cố liên quan đến loại máy bay tinh (100, 110, 111) là / thường được sử dụng trong chế tạo wafer silic ..

Và hãy thêm hỗ trợ cũng là một lý do tại sao nó được chọn / ưa thích.

 

[baenisch]

Ngoài Channeling khắc axit và các vấn đề đã được đề cập
sự chỉ đạo 100 cũng cung cấp giao diện điều kiện tốt nhất.Nếu
Tôi nhớ rằng phải là vấn đề lớn nhất trong
phát triển của n-Fet thiết bị.Có điều kiện bề mặt xấu
dẫn đến rất nhiều 'mở' ở giao diện giữa các bề mặt chất nền
và các cửa khẩu -> tải của các điện tử có được kẹt -> cao vt.Có lẽ điều này
được sử dụng hiện nay đối với một số thiết bị đặc biệt ...

Lời chúc mừng tốt đẹp nhất

Andi

 

[dick_freebird]

Tôi tin rằng chúng tôi được sử dụng cho một số 111 phân lập lưỡng cực điện môi
quy trình, bởi vì nó đã cung cấp các bồn nhất etch hành vi.

 

[snafflekid]

Tôi nhớ <111> đang được sử dụng cho quá trình DI lưỡng cực, nó tạo ra các v-shaped rãnh.100 là tất cả bao giờ tôi thấy bây giờ

 

[allennlowaton]

Cảm ơn bạn rất nhiều vì những thông tin được chia sẻ guys.
Điều đó đã được một sự trợ giúp tuyệt vời.